マスフローコントローラ(液晶) - 企業1社の製品一覧

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高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

企業：株式会社リンテック東京営業所
価格：10万円 ~ 50万円

配管材
真空機器
流量制御

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低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能　（ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。