ミニチュアエバポレータ - メーカー・企業と製品の一覧

ミニチュアエバポレータ

UHV対応の小型蒸発源です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。