高性能メタルマスク超音波洗浄装置
強力・繊細・高速・メタルマスク超音波洗浄装置 デンソー殿との共同開発商品
すます高密度化する基盤の需要に対応するためメタルマスクも、レーザーマスク エッチングマスク アディティブマスクの3種類とも 高微細加工、高密度化しております。そのため 従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに 対応できなくなってきました。そこで、当社は、真空前処理型超音波洗浄装置MARSと、液晶APR版洗浄装置の 両者の豊富な経験に 基ずき、大手自動車部品メーカーデンソーの指導のもとに、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、製造販売しています。
- 企業:株式会社ブルー・スターR&D 本社
- 価格:1000万円 ~ 5000万円