ラインダイヤフラムバルブ(調整) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルトラクリーンダイヤフラムバルブ『UCVシリーズ』。

本カタログには下記アイテムが記載されております。 ・3Lシリーズ（オールメタルシール） ・2Lシリーズ（ソフトシール） ・EVZSシリーズ（かしめシート） ・2LEシリーズ（コンパクト型） 用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。 耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティクル発生を極力抑えます。 半導体装置に要求されるクリーン度を高いレベルで実現し、製造ラインでの歩留まりを改善します。 また、高純度ラインで使用可能は流量調整弁2LMシリーズもご用意しております。 海外仕様のダイヤフラムバルブ、モノブロックバルブ、面実装対応のバルブをお探しの方はお問い合わせフォームよりリクエスト下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。