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<FINE series PURE> 超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けです。
<特長> 1.メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。 2.接続タイプが豊富に揃っています。 3.オプションでUP処理も可能です。 4.開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。 5.メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。 6.高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。
<FINE series PURE> 超高純度用、ダイレクトダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.良好な置換特性。 2.高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。 3.各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体 ライン向けのマニュアルオペレ－ションダイヤフラムバルブ。 4.ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペース フリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
<FINE series PURE> 超高純度用、可変式2段切換ダイレクトダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.小流量設定可能Cv値範囲 呼び径 6.35:0～MAX.Cv値 呼び径 9.52:0～0.25 2.コンパクト 3.高耐久(高寿命)
<FINE series PURE> 超高純度用、高耐久ダイレクトダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.優れた耐久性 2.高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムを使用
ドレンフリーを実現するダイヤフラムバルブです。
<特長> 1.流路形状。流路は、ストレートです。流量は、配管Cv値の80％以上となります。 2.自由な配管姿勢。セルフドレン配管 規定角度なし。水平、垂直配管で、 配管内の液溜りを最小にすることができます。 また、バルブを傾ける必要がないので、配管設計及び施工が簡単におこなえます。 3.T型分岐弁構造。流路は、ストレートです。分岐部の圧力損失が小さくなります。 4.シール構造。バックアップゴムを薄いフッ素ゴム製としたため、 高温耐久性が良く、緩みにくくなっています。 5.ダイヤフラムに2重のタッチライン（突起部）を設けています。 外側のラインは、ボディ、アクチュエータとのガイドの役割をし、 内側のラインは、流体を閉止する役割をしています。 この構造により抜群の気密性と耐久性を保持しています。
ダイヤフラムバルブ
【特徴】 ・高耐薬 接液部はＡＬＬ PTFEを使用。幅広い薬品に対応可。 ・小型 外形寸法φ26*30mmとコンパクト設計。このサイズでオリフィス径は最大Φ２．５相当まで製作可能。 ・低消費電力 3.6Wと低消費電力で省エネ設計に最適です。 ・各種カスタマイズ対応 お客様のご要望により接液部材質、オリフィス径、圧力仕様など様々なカスタマイズに対応します。
液剤流量をスムーズに制御する ダイアフラムバルブ
高精度ダイアフラムバルブ SV62 は、液剤と反応しない不活性ポリマー樹脂を採用し、溶剤、瞬間接着剤、 嫌気性接着剤、フラックス等の低～中粘度液剤を液ダレなく均一に塗布することが可能です。 ・小型軽量で設置スペースをとらない ・流量制御が可能 ・迅速で確実なシャットオフ動作は液ダレがなく、 優れた液切れ性を保持 ・材料粘度：低粘度,中粘度 ・塗布形状：線塗布,点塗布 ・作業方法：半自動,自動 ・吐出量：少量,中量
従来より小型コンパクト設計でステンレスアクチュエータ仕様のダイヤフラムバルブ
ご好評いただいておりますステンレス製アングルシートバルブ”Type 2000 INOX”のダイヤフラムバルブ機種”Type 2031 INOX”をライナップいたしました。 ・従来より小型、コンパクトなデザイン ・ステンレス製のアクチュエータとバルブ本体 ・過酸化水素水を使用するライン、殺菌ラインに最適 ・ゼロデットボリューム ・高サニタリ環境向け
鍛造品と同等の強度を確保しつつ、金属使用量を大幅削減！冷却・加熱を短時間化
当社の『ダイヤフラムバルブ』は、鍛造パイプをベースとした“チューブベンド製法”により、金属使用量を大幅にカット！冷却時間の短縮にもつながり、一般的な鍛造プロセスに比べ、最大75％もの軽量化を実現しています。 また、ASME BPEに対応した高レベルの無菌・洗浄性を満たすダイヤフラムバルブです。 従来のPTFEダイヤフラムに加え、耐薬品性と柔軟性に優れた、新しいPTFE材「GYLON」ダイヤフラムも選択可能。 USP VIのほか、FDA、EC-Regulation等に対応しています。 【特長】 ■鍛造製法に比べ、34～75％の軽量化を実現 ■開閉動作、熱サイクルに対する高い耐久性 ■冷却・加熱の短時間化により、生産効率アップ ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
ダイヤフラムバルブ（ダイアフラム弁）の構造、電磁弁の内部構造を徹底解説！ ※技術資料を無料プレゼント！
「ダイヤフラムバルブ（ダイアフラム弁）の構造」は、ダイヤフラムバルブ、2方電磁弁の内部構造、3方電磁弁の内部構造を解説した技術資料です。 【掲載内容】 ■ダイヤフラムバルブの構造（画像による名称と構造説明） ■2方電磁弁の内部構造 ■3方電磁弁の内部構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイヤフラムバルブ
■材質 接液部がSUS316L、PTFEですので、溶出や腐食の心配がありません。さらに、アクチュエータにもステンレス材を採用していますので、外部の悪雰囲気や結露による腐食の心配はありません。 ■シール 流路のシールは、ステムに取り付けられたPTFE製シーリングをSUSボディー側弁座に押し付けることにより、確実に行われます。 ステム側とアクチュエーターはダイヤフラムにて遮断されているので、摺動部の接液が原因のコンタミネーションや外部雰囲気の混入による汚染の心配がありません。 ■無滞留 液溜りがほとんどありません。特にボールバルブ等に比べて、タンクの製品を効率良く取り出すことができます。 ■洗浄 残留物が少なく、摺動部が接液していないので、洗浄時間が短縮でき、洗浄水を節約できます。定置洗浄（CIP）対応です。 ■滅菌 高温対応の材質を使用しておりますので、定置滅菌（SIP）に対応しています。 ■メンテナンス ステムがアクチュエーター側に抜ける構造になっていますので、ボディーを配管ラインからはずすことなく、メンテナンスが簡単に行えます。
自社製のダイヤフラムバルブ等｢アイ・オー・テクノロジーズの総合カタログ｣のご紹介です。
アイ・オー・テクノロジーズ社は、自社製のダイヤフラムバルブ、GEMU社製のダイヤフラムバルブや、医薬品・食品・化学・各種製造ライン向けのSIP、CIP対応、無滞留バルブを取り扱っています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
クリーンなオペレーションを保持
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 LD シリーズ ■ 最高使用圧力：2.06 MPa ■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 ■ ボディ材質：ステンレス鋼（ 鋳造製／鍛造製／バー・ストック製） ■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mm から25 mm まで
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ
スウェージロックのダイヤフラム・シール・バルブを使えば、高純度システムや超高純度システムにおけるニーズに対応することができます。ダイヤフラム・バルブは、幅広い用途向けに、さまざまなサイズ、材質、形状を ご用意しております。 【特徴】DP シリーズ ■ 超高純度用 ■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼 ■ モデル:低圧型、高圧型 ■ エンド・コネクション・タイプ:VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル ■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式
数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現 ■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能 ■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms ■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性 ■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
粉粒体用アイリスダイヤフラムバルブ
●粉粒体の排出に大変便利です。 ●超底面間です。 ●粉粒体の噛み込みの不安がありません。 ●スリーブの絞り角度で排出量の調整も簡単です。 ●バグフィルタ下などにもOK（非磨耗性、弱負圧下のとき。） ●本体：AC、スリーブ：ナイロンまたはラバー
超高純度ダイヤフラムバルブ。 原子層蒸着 （ALD) ・高速スイッチ（5ms未満）用途で約1億回の開閉が可能（弊社試験条件下）。
ウルトラファストシリーズは、原子層蒸着（ALDプロセス)用途に代表される、正確に同じ条件で安定稼働し続けることを要求される高速開閉かつ高温の高純度プロセス向けに設計されています。独自の流量調節メカニズム（特許出願中US61/910，079号）を採用し正確な流量を保つよう微調整しながら使用することが可能です。 ＜特長＞ ・高速バルブ開閉（バルブ反応時間： 5ms未満） ・超高寿命（１億回の開閉試験に合格） ・耐圧： 真空～1MPa（150psi） ・ボディ材質： SS316L VARまたはVIM/VAR（SEMI F20-0305準拠） ・使用温度範囲： -10～120℃（標準ボンネット） -10～200℃（延長ボンネット） ・サイズ： 1/4"、1/2" ・表面仕上げ（平均）： 5uインチ ・バルブタイプ： 2ポート、3ポート、4ポート ・オプションで熱電対、ヒーターカートリッジ穴加工対応 ・オプションでソレノイドバルブ、リミットスイッチに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータイプをラインアップしています
『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ
『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全・高耐久・パーティクルフリーを実現！アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ
『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 ＃空圧 BSGS（特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 ＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ
株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。 中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。 【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！
『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。
バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 ※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：250℃までの高温環境下で使用できます。 【特長】 ■サイズ：1/4" 1/2" ■駆動方法：自動 手動（ZD-Kのみ） KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 ※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能！ 流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。 『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上 メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※ ※当社実績値比較 ※メタルシート：5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート：80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい
PTFE加工事例 ダイヤフラムバルブ
・ダイヤフラムバルブ 用 途 ： ダイヤフラムバルブ 材 質 ： PTFE 要求特性 ： 屈曲性、クリープ性 技術特長 ： アイソインサート成形
耐食性に優れた材質を使用！流体抵抗が小さく、高粘度の液に適しております
『VP710』は、グランドレスで流体の外部への漏れ及び外気が 内部に侵入することがないダイヤフラムバルブです。 耐食性に優れた材質を使用しており、幅広い用途に使用可能。 流体抵抗が小さく、高粘度の液に適しております。 上部のインジケーターで弁の開閉状態を確認できます。 【特長】 ■グランドレスで流体の外部への漏れ及び外気が内部に 侵入することがない ■耐食性に優れた材質を使用 ■流体抵抗が小さく、高粘度の液に好適 ■上部のインジケーターで弁の開閉状態を確認できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スピンドルとスリーブは腐食及び摩耗に強く、ハンドルの悠然な作動を維持！
『PFA ライニングダイヤフラムバルブ』は、One touch Lock pinを 使ってハンドルを簡単に固定する事ができる製品です。 Lock pinが製品から離脱しない設計なので取り扱いが容易。 また、スピンドルとスリーブは腐食及び摩耗に強く、ハンドルの 悠然な作動を維持します。 【特長】 ■ハンドルロックは、Lock pinが製品から離脱しない設計なので 取り扱いが容易 ■強靭な耐薬品性、シンプルデザイン設計(ボディー、ボンネット) ■ハイグレードPFA射出方式ライニング ■ダイヤフラムはPTFEとEPDMを分離するように設計 ■コンプレッサーはボディー測シール部分に一致するように設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
