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スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータイプをラインアップしています
『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4 高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！
『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手動弁と自動弁をご用意！
『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用することで、 コンパクトで高耐久のアクチュエーターを実現しました。 【特長】 ＜手動弁＞ ■大型ホイールハンドルの採用により、なめらかな操作感触 ■一目で開閉状態が確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
