高純度ライン用チェックバルブ(逆止弁)『CMWシリーズ』
半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度ライン用、溶接型コンパクトチェックバルブCMWシリーズ。
CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ(逆止弁)です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 <特長> ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力: 20MPa ・最大許容背圧: 20MPa ・使用温度範囲: -10~80℃ ・クラッキング圧力: 0.014MPa (2psi) ・リシール圧力: 0.028(4psi) ・表面仕上げ: 5uインチ(電解研磨仕上げ) 10uインチ(機械研磨仕上げ) ・サイズ: 1/4 、1/2 ・接続: おす面シール、めす面シール、突合せ溶接 ・オプションでOリング材質を選べます (フルオロカーボンFKM、ポリクロロプレンCR、パーフルオロエラストマ、EPDM) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
- 価格:応相談