制振リニアアクティブ除振台『e-Stable』
半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート！荷重移動時の位置を制御
『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が 普及しているアクティブ除振台です。 倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を 追求しました。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現 ■生産性を大幅に向上 ■モーションフィードフォワード制御を搭載 ■ステージ移動の情報を事前に入力することで、より的確な位置制御が可能 ■高分解能な装置の性能を最大限に発揮 ■エアをほとんど消費しない ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
