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M3-LSシリーズはコントローラを内蔵した小型高精度リニアステージです。駆動機器も筐体に内蔵。外部ボード不要。OEM組込みに最適
◆一体型スマートモジュール：別途の電子機器が不要 ◆超小型サイズ：29 × 20 × 10 mm ～ 32 × 32 × 11 mm（コントローラ含む） ◆高分解能： 0.5 µm ◆長いストロークでのモーションに対応： 6 mm、8 mm、15 mm ◆低電圧、低電力設計
セルフロック機構により、顕微鏡・光学装置内で停止時の発熱や位置ズレを低減
U-521は超音波ピエゾモータを搭載した、小型リニア動作ステージです（省スペース設計：幅35 mm、高さ15 mm）。 小型ながら、18 mm動作量、最大速度200mm/s。 内蔵インクリメンタルリニアエンコーダーで、高精度位置計測を実現。 電源OFF時には、2Nのセルフロック保持力で機械的に安定した状態で位置を保持します。そのため、消費電力および発熱を大幅に低減できます。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
高応答スキャニング向け。±0.1µm繰返し精度で高速動作時の位置ズレを低減
『V-408』は、3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で 機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに 伝達するPIMag リニアステージです。 クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく 強化ローラーが線で接触するようになっています。 これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、 摩擦が低減しスムーズな動作が可能。クロスローラーガイドには、 ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特長もあります。 【特長】 ■アイロンコア3相リニアモータ ■高耐荷重のクロスローラガイド ■最小インクリメンタルモーション 20nm ■双方向繰り返し性 ±0.1μm ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大50m/s²加速により高速検査工程でも安定したスキャン再現性を実現
磁気ダイレクトドライブを採用したV-855は、600Nを支えるクロスローラーガイドとアイアンレス3相リニアモータを組み合わせ、振動レスで滑らかな高速搬送を実現します。 200 / 400 / 800 mmの3ストロークから選択でき、アブソリュートエンコーダモデルは原点出し不要で稼働率を向上。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェーハ・X線検査向け。高速搬送時も0.1µm動作で測定位置精度を維持
・幅132 mm、高さ94mmのコンパクト筐体 ・動作量：400mm、800mmの2タイプ ・コアレスリニアモータ駆動で、最大速度：5000mm/s ・インクリメンタルとアブソリュートエンコーダータイプ：最小動作量は0.1µm ・耐荷重は1000Nあり、”V-857.TTｘ”モーションプラットフォームを用いて固定 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
大型ワーク検査向け。重量物搬送時も2µm再現性で測定品質を安定化
PI Mag(R)リニアモータとダイレクトエンコーダを組み合わせたV-817は、非接触駆動で発塵を抑え、長期安定性を実現します。 最大負荷600 Nまで対応し、2 µmレベルの位置決め再現性を実現。 動作量は、204, 407, 610, 813 mmの4タイプをラインアップし、ドラッグチェーンや75〜150 mm角M6取付プレートなど豊富なアクセサリで迅速にシステム化できます。 センサーやカメラの組立、精密検査&測定、ウェハー加工&検査、レーザー加工など幅広い産業アプリをサポートします。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
マシン仕様にJust-Fit！カスタムメイドリニアステージ実例を多数掲載
当資料は、進化型リニアステージ『τ Linear Stage』の カスタムメイド実例集です。 「Xステージ」をはじめ、「X2ヘッドステージ」、「XYステージ」、 「円弧型ステージ」などカスタムメイドリニアステージ実例を豊富に掲載。 CKD日機電装は、お客様のマシン仕様にジャストフィットする高品質な リニアステージをご提供いたします。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■特長 ■カスタムメイドリニアステージ実例 ■リニアステージ生産体制 ■位置決め精度校正システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で50mm動作の高性能位置決めステージ
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
