スパッタリング用 DC電源『GEXUS』
進化する高性能、高信頼性！多段インバータ方式を採用し極めて少ないアークエネルギーを実現したDC電源
『GEXUS』は、多段インバータ方式を採用し極めて少ない アークエネルギーを実現したスパッタ用直流電源（DC電源）です。 出力1.5kW～20kWまでの幅広いラインナップがございます。 複数台のタンデム運転により最大240kWの大出力化が可能です。 また、30W～の低出力を実現した、3kWスパッタ用直流電源 「GEXUS-H3A」もございます。 半導体、パワーデバイス、SiC、ほか各種の成膜用にご使用いただけます。 【特長】 ■高信頼性、低故障率 ■オプションで高速アーク消弧機もラインナップ ■アーク時高速遮断(1us以内遮断) ■低アークエネルギー(1mJ/kW未満) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社オリジン
- 価格：応相談
