ルテニウムエッチング液『RECシリーズ』
半導体デバイスやフォトマスクの材料として使用されるルテニウム用エッチング液
DRAMのキャパシタ電極やフォトマスクに使われるRu膜に対応したエッチング液です。 【特徴】 ■REC-01はRu膜を短時間でエッチングでき、RuO2もエッチング可能 ■REC-11はRuO4ガスの発生を抑制でき、ウェーハの金属汚染が少ない ■REC-11は数nm～のRu薄膜のエッチングに好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：関東化学株式会社 電子材料事業本部
- 価格：応相談
