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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
「ピッタリなポンプが見つからないな。。」とお悩みの方ご連絡ください！オーステナイト系ステンレス鋼を採用したルーツ式の真空ポンプ！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
