ルーツ真空ポンプ(日本ブッシュ) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル 　ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 　省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 　非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。