レジスト現像アナライザ(パラメータ) - 企業1社の製品一覧

レジスト現像アナライザ RDAシリーズ

フォトレジスト現像速度解析評価装置

レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメータを正確に決定することができます。

• 企業：リソテックジャパン株式会社
• 価格：応相談

• その他 分析・検査機器