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レーザー光学素子(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

レーザー光学素子の製品一覧

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DUV/UV用オプティクス製品

エキシマレーザ、UV-YAGレーザに対応!DUV/UV用オプティクス製品をご紹介

当社では、半導体検査、レーザーアニール、微細加工等のアプリケーションに 適した『DUV/UV用オプティクス製品』を取り扱っております。 リソグラフィから高出力加工まで、幅広い用途で高い均一化性能を実現した 「ホモジナイザユニット」や「フライアイ」などをラインアップ。 Å(オングストローム)オーダーの高品位研磨技術で、エキシマレーザや UV-YAGレーザに対応いたします。 【特長】 ■エキシマレーザ、UV-YAGレーザ対応 ■Å(オングストローム)オーダーの高品位研磨技術 ■CaF2、合成石英対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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