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欠陥場所を拡大すると微小欠陥が見えてくる！検査装置の概要をご紹介します
当資料では、超広視野レーザ走査イメージャ欠陥検査装置の概要について ご紹介しています。 「欠陥検査装置とレーザ走査技術」をはじめ、「開発の経緯と独自技術の特長」 や「開発事例」などを掲載。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 1.欠陥検査装置とレーザ走査技術 2.開発の経緯と独自技術の特長 3.開発事例 4.外観検査市場の動向と当社の対応 5.現在使われているレーザ走査イメージャの例 6.応用、ユーザメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
走査幅4mmで0.2μmレベルの欠陥を検出！標準型レーザ走査イメージャをご紹介
『LSM-4000シリーズ』は、顕微鏡でもなくCCDカメラでもない第3の観察装置です。 幅広な長い画像を撮ることができ、細かな欠陥検査に好適。 セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出が可能です。 当シリーズの他、大型レーザ走査イメージャ「LSM-6000シリーズ」や小型 レーザ走査イメージャ「LSM-3000シリーズ」もラインアップしています。 【LSM-4000シリーズ 特長】 ■標準型レーザ走査イメージャ ■透明フィルム、サファイア、ガラス、セラミックスなど、数μmのキズや 異物の検出（2画面表示） ■スーパーバリアフィルム、ITO膜のリペアー部検出 ■セラミックス等のマイクロクラック、異物の検出可能 ■走査幅4mmで0.2μmレベルの欠陥を検出 ■走査レンズは交換可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
