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BASISシリーズ！ 対応ガスはAirを含めて8種類。
ALICAT（アリキャット）社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用し質量流量測定を行います。 ■100msの制御応答 ・PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行います。 ・ウォームアップ時間は70ms。すぐの稼動が可能です。 ■アナログ出力/入力、RS-485通信を標準搭載 ・0-5VDC入力による制御流量の設定が可能です。 ・また現在流量を0-5VDCで出力。ロガーなどによる記録が可能。 ・RS-485を標準搭載。PLCなどによる一括監視が可能です。
真空製膜装置から研究実験装置まで幅広い用途に対応
ガス・真空・低温機器供給のR＆D、川口液化ケミカル社が取扱う ローコスト・マスフローコントローラのご紹介です
マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル！
『1000シリーズ』は、基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、 製品の性能と信頼性を高めたマスフローコントローラーです。 医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や 実験など幅広い分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：20 SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定/出力信号：0-5V ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
