BS-04 series ロータリーセンサー
長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。 〇特長 ・検出孔が定位置 ・晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着可能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：アズサイエンス株式会社 松本本社
- 価格：100万円 ~ 500万円
