ロールロール成膜装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ロール to ロール装置『ATMOS-R2Rシリーズ』

同一チャンバーに搭載可能！マルチゾーン化によりクロスコンタミを低減

『ATMOS-R2Rシリーズ』は、ロール to ロール装置です。 様々なタイプのフレキシブルなフィルムへの表面トリートメント・成膜し、 同一チャンバーのマルチゾーン化によりクロスコンタミを低減。 各種の成膜用ソースやトリートメント用ソースが 同一チャンバーに搭載可能で、FLOCONシリーズのガス、 蒸気や液体制御システムの統合による高い対応性があります。 【特長】 ■様々なタイプのフレキシブルなフィルムへの 　表面トリートメント・成膜 ■同一チャンバーのマルチゾーン化により 　クロスコンタミ低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。