ロール to ロール装置『ATMOS-R2Rシリーズ』
同一チャンバーに搭載可能！マルチゾーン化によりクロスコンタミを低減
『ATMOS-R2Rシリーズ』は、ロール to ロール装置です。 様々なタイプのフレキシブルなフィルムへの表面トリートメント・成膜し、 同一チャンバーのマルチゾーン化によりクロスコンタミを低減。 各種の成膜用ソースやトリートメント用ソースが 同一チャンバーに搭載可能で、FLOCONシリーズのガス、 蒸気や液体制御システムの統合による高い対応性があります。 【特長】 ■様々なタイプのフレキシブルなフィルムへの 表面トリートメント・成膜 ■同一チャンバーのマルチゾーン化により クロスコンタミ低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
