SSY-10010プロトスワーク自動移載システム
プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応
- Company：株式会社ジェーイーエル
- Price：応相談
ワーク自動移載システム - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
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