ワーク自動移載システム - メーカー・企業と製品の一覧

SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。

プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応