乾燥・焼成制御システム『フォトマスク・リペア装置』
先進のプリント基板用リペア装置もご用意！最小修正線幅5umの乾燥・焼成制御システム
『フォトマスク・リペア装置』は、黒欠陥をレーザー加工による修正及び 白欠陥に修正材料塗布による修正を目的とした乾燥・焼成制御システムです。 前工程の検査装置の座標位置のデータを受信し、欠陥座標位置に近い所に 移動。最小修正線幅は5umとなっています。 この他にも、先進のプリント基板用の「PCBレーザーリペア装置」も 取り扱っています。 【特長】 ■前工程の検査装置の座標位置のデータを受信 ■欠陥座標位置に近い所に移動している ■レーザーシステム：Nd YAGレーザー(1064nm、532nm、266nm 選択よる) ■X/Y/Z 3軸独立モーターシステム駆動 ■最小修正線幅5um ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：A-Tech System Co., Ltd.
- 価格：応相談
