『3M（TM）金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減（※）！テスト用から量産用まで各種ご用意
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能（※）。 リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、 BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。 【特長】 ■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい ■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現 ■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ ■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意 ■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に ■弊社の他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります ※弊社、社内試験での結果によります。 ※オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。 ご希望の方は「お問い合わせ」よりお申し込みください。内容によりお受け出来ない場合が御座います。ご了承ください。 ※ソルベンタムは、下記のリンク内の個人情報取り扱い方針および同社のプライバシーポリシーに基づき個人情報を取り扱います。
