圧力非依存MFC『MARU7000s』
EP処理により優れた耐腐食性とリーク特性を確保！優れた流量安定性を発揮する圧力非依存MFC
『MARU7000s』は、優れた耐腐食性とリーク特性を確保し、高い流量安定性を発揮するサーマル + 圧力センサーベースのMFCです。 当製品は、EP処理を施すことにより高い耐腐食性とリーク特性を実現。さらにPI機能により優れた流量安定性を発揮し、優秀なクロストークコントロールを可能にします。圧力不感性の特長（圧力非依存）を有しており、バルブタイプは中・大流量に適合するSolenoid Valve、または小・重流量に適合するPiezo Valveから選択可能です。国産技術で構築されたプロダクトポートフォリオとして、半導体やディスプレイ、一般産業など様々な分野へマスフロートータルソリューションを提供します。 【特長】 ■EP処理で耐腐食性とLeakに優れる ■PI機能で流量安定性に優れる ■クロストークコントロール優秀 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
