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保守メンテナンストータルソリューション - 企業1社の製品一覧

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半導体製造装置保守メンテナンストータルソリューション

主要前工程装置用の高額パーツ・電源・真空ポンプ等々を修理 / 再生 / オーバーホールします。

〔特徴〕 ・CMP、イオン注入、CVD、スパッタリング、フォトリソグラフィー、エッチング等主要前工程装置に対応 ・ディスコン品への対応、修理 / 改善品提案 ・老朽化装置の延命対策の提案 ・現地取り外し、取り付けに対応

  • その他の各種サービス

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