両面ラップ定盤の修正効果を検証(形状確認はストレートゲージ)
キズ・平坦度悪化につながる定盤形状を、実測データで確認
両面ラップ・ポリッシュ加工では、定盤や研磨パッドの形状が崩れると、ワークのキズ、平坦度悪化、加工レート低下につながる場合があります。リンク先記事では、形状が大きく崩れた定盤をストレートゲージで測定し、修正キャリアによるドレッシングでどのように形状が変化するかを検証しています。修正条件による違いや、定盤精度が悪い状態で高荷重をかけた場合の注意点も紹介。定盤修正の効果や、悪化する前に管理する重要性を確認したい方におすすめです。 【特長】 ■ 両面ラップ・ポリッシュ定盤の修正効果を紹介 ■ ストレートゲージによる定盤形状の測定例を掲載 ■ 修正キャリアによるドレッシング結果を確認 ■ キズ・平坦度悪化・レート低下の原因確認に ■ 定盤形状が大きく崩れる前の管理に役立つ内容 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格:応相談