光学Zステージ(精密) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

位相シフター｜干渉計測時の位相再現性を維持する光学Zステージ

ティルト補正付きZ動作により、干渉計や光学測定時の光軸ズレを低減

・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)