全自動イオンコータ - メーカー・企業と製品の一覧

全自動イオンコーター　SC-701AT

SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター

QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。 【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載 〇デバイスの電極膜付けにも使用可能

• 企業：サンユー電子株式会社
• 価格：100万円 ~ 500万円

• スパッタリング装置