解析波長が広い(DUV～NIR)分光エリプソ
解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に応じた波長で膜厚と光学定数の解析が行えます。
回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
