直動型空気圧サーボ流量制御3方弁『AS3x0Sシリーズ』
静圧軸受を備えた軽量案内弁により⾼速対応を実現！
『AS3x0Sシリーズ』は、電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを 用いたスプール型3方弁です。 フォースモータ（VCM）とスプールは一体構造で 入力電流に応じた推力がスプールを変位させます。 スプールが変位することで開口面積が増加し、流量が上昇します。 スプールはアナログ変位センサ（LVDT）で位置決めされます。 スプールには空圧静圧軸受が設けられており 高い分解能を有しております。 主に半導体製造装置に内蔵され、精密な制御を行っています！ 【特長】 ■変位制御 ■大流量 ■摺動部がなく長寿命 ■高い分解能・ヒステリシス ■少ない内部リーク ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- Company：ピー・エス・シー株式会社
- Price：応相談
