EUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプXLP6000
吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に！
スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～ 流速範囲：0.3μl/分～ （5.2nl/秒～） 流速調整単位： 63nl/分～ （1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～ 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分 （1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位： 12.5μl/分～ （0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。
- 企業：テカンジャパン株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
