バタフライコントロールシステム Series 61.2
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
- Company:VAT株式会社
- Price:応相談
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性