高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」
プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。
高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」は、リフターピン駆動によりウエハなどの上下搬送が可能です。 プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。 安全カバー（オプション）は、上開口扉付、扉無しなどのバリエーションがございます。 【特徴】 ○最高温度 800℃ 対応 ○ホットプレートサイズ □175mm ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御、流量制御が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
