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半導体ロボット - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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半導体用ロボット SCR3100S-PM

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズ

小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

  • その他産業用ロボット

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