半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』
太陽電池・液晶・LED生産工場や研究している大学・研究機関に！半導体用用途にお使いいただけます
『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。 製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を 満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」 「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。 【ER-1HL 仕様（抜粋）】 ■一次測圧力（MPa）：2～15 ■二次側使用圧力（MPa）：0.1～0.99 ■使用温度（℃）：-5～40（設計温度-10～75℃） ■口径：1/4 ■重量（kg）：1.3 ■内臓フィルター濾過度：5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ヤマト産業株式会社
- 価格：応相談
