【カーボン製品の用途】半導体・太陽電池
黒鉛（カーボングラファイト）は半導体製造装置の様々な部品として活躍しています！
半導体分野では、高純度処理をした黒鉛材が必要とされており、シリコン 単結晶引上炉用の部材（ルツボ、ヒーター）などは不純物を嫌います。 一般的な人造黒鉛素自体は99.9%（代表値でCIP材約800ppm以下）は不純物の ない素材となっております。 当社では、半導体関連部材・化合物半導体の製造工程、光ファイバー、 熱処理用サセプター、ダミーウ工ハー、薄膜太陽電池の製造装置部材なども、 製造しております。 【製品（抜粋）】 ■高純度カーボン発熱体 ■シリコン引上用ルツボ ■半導体製造装置治具 ■カーボンスパッタリングターゲット ■固体高分子形燃料電池などのセパレータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社レイホー製作所
- 価格：応相談
