卓上式ホットプレート
軽量・コンパクトな卓上タイプ
【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホットプレートGAP：0.3mm（プロキシタイプ） 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、半導体、液晶
- Company：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- Price：応相談
卓上ホットプレート - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
卓上ホットプレート Product List
1～2 item / All 2 items
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卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞
コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。
ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。 ■3～8インチに対応。 ■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。 ■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。 ■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：株式会社 SCREEN SPEサービス
- Price：応相談
