レーザー印字監視制御装置 開発事例
半導体チップウェハーへのレーザー印字装置の監視制御!各種センサー情報を集約しLAN経由で通知
当社にて、「レーザー印字監視制御装置」の開発を行った事例を ご紹介いたします。 各種センサー情報を集約しLAN経由で上位装置に通知する制御部と 集塵ボックスとで構成。制御部はキャスター付アルミフレーム架台に 載せた移動式となっています。 LANによる動作設定制御、及び動作状況のモニタに対応しております。 【事例概要】 ■設計領域:回路設計 有、機構設計 有、ソフト設計 有 ■特記技術:アナログ信号処理、A/D変換 ■特記部品:圧力センサー、温度センサー、PLC 三菱Qシリーズ ■使用ツール:D2 CAD、AutoCAD ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:富士オートメーション株式会社
- 価格:応相談