接触式／非接触式ハイブリッド厚さ測定アプリケーション『P3CF』
白色光を透過する様々な材料の非接触厚み測定を実現
P3CFは、従来の接触式プローブと、コンフォーカル（共焦点）技術による非接触式プローブを組み合わせた測定システム (ハイブリッド測定) です。 様々な素材の距離および白色光に対して透明な材料の厚さを直接測定することができます。 薄くてデリケートな材料（セラミック、半導体ウェハー、包装用エポキシ樹脂モールドコンパウンドなど）の厚さをは、仕上げ工程で正確な測定が 要求されますが、接触式では測りづらいことが課題です。共焦点技術を採用したP3CFは、基準面からワーク表面までを距離として厚さを非接触で測定します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：マーポス株式会社
- 価格：応相談
