厚分布測定器 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

平坦度を1 nmの精度で計測可能｜ウエハ厚分布測定器

非接触で平坦度を1nmのくり返し精度で計測可能！

『TMS-2000』は、革新的なハードウェア設計と環境変化にも 高い耐性を有する超高精度ウエハ厚分布測定器です。 シリコン(～P＋＋)、SiC、サファイア、ガラス、LiNb3、SOIなどの 様々なウエハ材料のインライン検査を含め、高スループットと コンパクトなサイズを活かした幅広いアプリケーションへの 導入が可能です。 高速と高密度計測を両立したスパイラルスキャン方式を採用。 小型で配置場所を選ばない省スペース設計となっています。 【特長】 ■環境温度変化や振動に対する高い耐性に基づいた安定した厚さ計測 ■サブナノメートルのくり返し測定精度 ■自由度の高いスキャン方式でウエハ面内の厚さ分布を測定 ■片面からの光照射でジグなどに張り付けたままでも計測可能 ■異なる複数のウエハで差分解析が可能 ■SEMI規格に準拠した評価パラメータが測定可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。