取出収納装置 - メーカー・企業と製品の一覧

ウェーハ取出・収納機（WLU-01型）

3種類の動作が行える装置

φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。