吸収電流による抵抗異常箇所特定
吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。
・高抵抗異常箇所の特定可能 ・配線を流れる電流が微弱(pA) ・表面保護膜が存在しても測定可能 ・多層構造の配線でも測定可能 ・SEM観察とほぼ同条件で測定可能
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談
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吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。
・高抵抗異常箇所の特定可能 ・配線を流れる電流が微弱(pA) ・表面保護膜が存在しても測定可能 ・多層構造の配線でも測定可能 ・SEM観察とほぼ同条件で測定可能