回転CVD炉(cvd) - 企業1社の製品一覧

回転CVD炉

リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに

炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。

• 企業：株式会社マイクロフェーズ
• 価格：500万円 ~ 1000万円

• その他加工機械