回転ステージ『SK・・・W』
高精度で低断面・高剛性！機構備品を使用して、一から設計する手間を削減できる
『SK・・・W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、 テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現した回転ステージです。 回転案内部にさまざまな方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラ ベアリングを採用。 また、テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けること ができ、機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を 削減することが可能です。 【特長】 ■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込んでいる ■テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現 ■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを採用 ■クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現 ■テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能 ■機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
