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回転スピンコータ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転!スピンコート機ACT-200SM-S スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

『ACT-200SM-S』は、1 000~60 000rpm±1%以下(試料台Φ20実績値)の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。 薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3~Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保持となりますので、真空ポンプは必要ありません。 スピンコーターACT-AIIシリーズとは異なり、こちらの機種はカップサイズがφ200mmの1機種のみで、プログラムステップ数・パターン数が1ステップ・1パターン(回転時間設定は0.1-999.9secか1-9999sec)となります。 インターロックセンサー付きで回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、非常停止ボタンを標準装備と安全面にも配慮しています。 ACT-200SM-Sのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm!高精度な高速回転スピンコート機ACT-300AII-HS スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

『ACT-300A II-HS』は、MAX12 000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。 粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。 こちらをベースにした特注(オプション追加)も承れますので、お気軽にお問い合わせください。 1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-300AII-HSのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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