【半導体ガス】 WUD-2x 圧力センサ
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX IECEx ・高精度モデル 総合精度0.3%以内 ・長期安定性 ・ディスプレイ付き、スイッチ出力オプション付き <製品基本スペック> 圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ（最大） -0.1...25.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR 薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA DC 0 ... 5 V DC 0 ... 10 V 総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
- 企業：ビカ・ジャパン株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
