圧力センサーベースのMFC『MARU9000s』
後段背圧が大気圧状態で動作可能！半導体の様々な工程における流量制御に好適なバルブ選択式MFC
『MARU9000s』は、後段背圧が大気圧状態で動作可能な圧力センサーベースのMFCです。 当製品は、前段バルブタイプと後段バルブタイプを選択でき、工程に応じた適切な提案が行えます。超微細加工に適した適切設計が施されており、後段バルブタイプは大流量プロセスに適合し、後段の圧力変動による影響を抑え、自己診断Level2機能を搭載。前段バルブタイプは低流量プロセスに適合し、前段の圧力変動の影響を低減しながら、フローデータを検証する自己診断Level3機能や、Hastelloyなどの使用による耐腐食性の強化を実現しています。半導体のすべての工程に適用できます。 【特長】 ■後段背圧が大気圧状態で動作可能 ■前段・後段バルブが選択可能で、工程別に提案 ■超微細加工に適した適切設計 ■自己診断機能を搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
