高融点金属向け電子ビーム蒸着装置｜磁場偏向型でクリーン成膜
高融点金属の成膜汚染に悩む現場へ！磁場偏向型機構と油分ゼロの排気システムで、蒸発材料の混入を防ぎ純度の高い薄膜を形成。
電子ビーム蒸着装置「YEG Series」は、薄膜形成の現場で起きる蒸発材料からの 汚染や油蒸気の混入による成膜不良を防ぐ真空成膜装置です。 「高融点金属の蒸着時に不純物が混ざり膜質が安定しない…」そんな 実験・試作現場に向けて、磁場偏向型のビーム制御とターボ分子ポンプ（TMP） によるドライ排気で確かな膜質をもたらします。 【こんな困りごとにおススメ】 ◆油回転ポンプ等の油蒸気による汚染が気になる ◆高融点金属の蒸着時に材料同士が混ざってしまう ◆実験室が狭く大型の成膜装置を置くスペースがない <選ばれる理由> ・TMP主排気により油蒸気フリーの清浄な真空環境を保持 ・単元だけでなく4元切替ハース対応で多層膜成膜が可能 ・ロードロック室の増設や基板加熱機構の追加に柔軟対応 ※ハース容量やカスタム仕様のご不明点は、カタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。（真空度や成膜条件のご相談も対応可能です）
- 企業：株式会社ヤシマ
- 価格：応相談
