3D基板外観検査機『RV-2-3D』
様々な検査計測工程の問題を解決！次世代型3D-AOI検査機をご紹介します。
『RV-2-3D』は、さらなる高精度、高速化を実現した3D基板外観検査機です。 従来の2Dテンプレートとプロセスモードに加え、新たに3D用のテンプレートを追加。 更にフィレット検査の専用アルゴリズムを開発しました。 寸法計測(長さ・距離・クリアランス)や角度・平面度・平行度検査など 一台で様々な検査項目に対応します。 【特長】 ■高速検査 ・新型3Dユニットによる高速化を実現 ・従来機対比34％向上の0.41sec/FOVを達成 ■高精度 ・高さ分解能0.1μm、繰り返し精度10μm(0402チップの場合) ・精度の大幅アップを実現 ・新しい技術の開発により鮮明で高精度な3D画像の取得が可能 ■検査方式 ・従来の2Dテンプレートとプロセスモードに加え、新たに3D用の テンプレートを追加 ・更にフィレット検査の専用アルゴリズムを開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ＪＵＫＩ株式会社
- 価格：応相談
