最終基板外観検査装置
人工知能による優れた欠陥識別能力をもった最終基板外観検査装置
従来の最終外観検査装置に用いられてきました学習方式では、学習枚数が増えると擬似欠陥が減少する変わりに、欠陥検出能力が極端に落ちていきます。特にパターン近傍の微小欠陥は、 ほとんど見えなくなります。 当社では、このような学習方式の欠点を克服した新技術の開発に成功しました。本技術は、欠陥検出用人工知能のパラメータの重みや結合状態を学習により変化させていく方式で従来の学習方式で欠点とされたパターン近傍の欠陥も精度よく検出でき、しかも擬似欠陥がほとんど生じません。 本技術の開発により、従来不可能とされてきた半田基板の半田キワレジスト剥がれ、半田過多等の欠陥も検出できるようになりました。
- 企業：ナノシステム株式会社
- 価格：応相談
