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幅広い化学品液体に対応！大流量処理等に使用されている高純度水用フィルター！
『Mega-Flow』シリーズは、大ろ過面積構造で、TFT-LCD製造プロセスである 洗浄装置及び高純度水用フィルターとして、大流量処理に使用されています。 高純度ポリプロピレン(PP)樹脂のハードウェアは 幅広い化学品液体に対応可能です。 さらにコンパクトデザインのプリーツカートリッジを 採用しているためフィルターの寿命が伸び、 ダウンタイムが短縮されることで、運用コストを抑えます。 【ろ過精度】 ■MEP：0.2, 0.45, 0.8, 3, 5, 10, 20, 30μm ■MES：0.1, 0.2, 0.45, 0.8, 1.2μm ■MEF：0.1, 0.2, 0.45, 1, 3μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトデザインのプリーツカートリッジを採用！運用コストを抑えるフィルター
『FasClean-Flow』シリーズは、大ろ過面積構造で、 第8世代と第8.5世代のTFT-LCD製造プロセスである洗浄装置及び ウェットプロセス用フィルターとして、大流量処理に使用されています。 高純度ポリプロピレン(PP)樹脂のハードウェアは幅広い化学品に対応可能。 コンパクトデザインのプリーツカートリッジを採用し、フィルターの寿命が 伸びることでダウンタイムが短縮され、運用コストを抑えます。 【ろ過精度】 ■FCFE：1, 2, 5, 10, 20μm 絶対ろ過 ■FCFP：0.8, 3,4.5, 10, 30μm ■FCFS：0.1, 0.2, 0.45, 0.8, 1.2, 5μm 絶対ろ過 ■FCFT：0.1, 0.2, 0.45, 1, 3μm 絶対ろ過 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
